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  Liquid precursor 2-step aluminum thin film deposition on KrF laser patterned palladium.

Lehmann, O., & Stuke, M. (1992). Liquid precursor 2-step aluminum thin film deposition on KrF laser patterned palladium. Applied Physics Letters, 61(17), 2027-2029.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0013-08C1-E Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-DE88-3
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Lehmann, O.1, Autor           
Stuke, M.1, Autor           
Affiliations:
1Research Group of Laser Chemical Processing, MPI for biophysical chemistry, Max Planck Society, ou_578609              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1992-10-26
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 281390
ISI: A1992JV04100010
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Applied Physics Letters
  Alternativer Titel : Appl. Phys. Lett.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 61 (17) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 2027 - 2029 Identifikator: ISSN: 0003-6951