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  Relevance of surface roughness to tungsten sputtering and carbon implantation

Bizyukov, I., Krieger, K., Azarenkov, N., & von Toussaint, U. (2006). Relevance of surface roughness to tungsten sputtering and carbon implantation. Journal of Applied Physics, 100: 113302. Retrieved from http://scitation.aip.org/journals/doc/JAPIAU-ft/vol_100/iss_11/113302_1-div0.html.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-0F1C-1 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-0F1D-0
Genre: Zeitschriftenartikel

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:
Bizyukov.pdf (beliebiger Volltext), 688KB
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Datei-Permalink:
https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-0F1E-E
Name:
Bizyukov.pdf
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-
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Sichtbarkeit:
Öffentlich
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf / [MD5]
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Copyright Datum:
-
Copyright Info:
eDoc_access: PUBLIC
Lizenz:
-

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Urheber

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 Urheber:
Bizyukov, I.1, Autor           
Krieger, K.1, Autor           
Azarenkov, N.2, Autor
von Toussaint, U.1, Autor           
Affiliations:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              
2Faculty of Physics and Technologies, Kharkiv National University, 31 Kurchatov Avenue, Kharkiv 611108, Ukraine;, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2006
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 291789
URI: http://scitation.aip.org/journals/doc/JAPIAU-ft/vol_100/iss_11/113302_1-div0.html
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Applied Physics
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: American Institute of Physics
Seiten: - Band / Heft: 100 Artikelnummer: 113302 Start- / Endseite: - Identifikator: -