Deutsch
 
Hilfe Datenschutzhinweis Impressum
  DetailsucheBrowse

Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT
 
 
DownloadE-Mail
 Lokale TagsFreigabegeschichteDetailsÜbersicht
  Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten

Lange, K.(1995). Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten (IPP 9/106). Garching: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik.

Item is

 

einblenden: alle ausblenden: alle

Basisdaten

einblenden: ausblenden:
Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-6217-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-6218-A
Genre: Bericht
Alternativer Titel : The role of ions and radicals in plasma-enhanced deposition of amorphous hydrogenatd carbon films

Dateien

einblenden: Dateien
ausblenden: Dateien
:
IPP-9-106.pdf (beliebiger Volltext), 3MB
Öffnen   Speichern
Datei-Permalink:
https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-6219-8
Name:
IPP-9-106.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Öffentlich
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf / [MD5]
Technische Metadaten:
Öffnen
Copyright Datum:
-
Copyright Info:
eDoc_access: PUBLIC
Lizenz:
-

Externe Referenzen

einblenden:

Urheber

einblenden:
ausblenden:
 Urheber:
Lange, K.1, Autor           
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

einblenden:

Details

einblenden:
ausblenden:
Sprache(n): deu - German
 Datum: 1995
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: 132 p.
 Ort, Verlag, Ausgabe: Garching : Max-Planck-Institut für Plasmaphysik
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 378700
Reportnr.: IPP 9/106
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

einblenden:

Entscheidung

einblenden:

Projektinformation

einblenden:

Quelle

einblenden: