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Titel:
Journal of Vacuum Science and Technology B
Andere
:
J. Vac. Sci. Techn. B
Andere
:
JVST B
Genre der Quelle:
Zeitschrift
Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe:
New York : Published by AVS through the American Institute of Physics
Seiten:
042203
Band / Heft:
38 (4)
Artikelnummer:
042203
Start- / Endseite:
1 - 5
Identifikator:
ISSN: 0734-2101
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954928495416