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  Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films

Gassner, G., Patscheider, J., Mayrhofer, P. H., Hegedus, E., Toth, L., Kovacs, I., et al. (2006). Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films. Journal of Vacuum Science & Technology B, 24(4), 1837-1843.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-45BE-2 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-45BF-F
Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : J. Vac. Sci. Technol. B

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Gassner, G.1, Autor
Patscheider, J.1, Autor
Mayrhofer, P. H.1, Autor
Hegedus, E.1, Autor
Toth, L.1, Autor
Kovacs, I.1, Autor
Pecz, B.1, Autor
Srot, V.2, 3, Autor           
Scheu, C.2, Autor           
Mitterer, C.1, Autor
Affiliations:
1Univ Leoben, Dept Phys Met & Mat Testing, A-8700 Leoben, Austria.; EMPA, Lab Nanoscale Mat Sci, CH-8600 Dubendorf, Switzerland.; Rhein Westfal TH Aachen, D-52074 Aachen, Germany.; MFA Res Inst Tech Phys & Mat Sci, H-1121 Budapest, Hungary.; Mat Ctr Leoben, A-8700 Leoben, Austria., ou_persistent22              
2Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657              
3Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Zentrum für Transmissionslektronenmikroskopie;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2006-07
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 297863
ISI: 000239890000026
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Vacuum Science & Technology B
  Alternativer Titel : J. Vac. Sci. Technol. B
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 24 (4) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1837 - 1843 Identifikator: ISSN: 1071-1023