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  Molecular size effect in the chemical sputtering of a-C:H thin films by low energy H+, H2+, and H3+ ions

Harris, P. R., Meyer, F. W., Jacob, W., Schwarz-Selinger, T., & von Toussaint, U. (2011). Molecular size effect in the chemical sputtering of a-C:H thin films by low energy H+, H2+, and H3+ ions. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 269(11), 1276-1279. doi:10.1016/j.nimb.2010.12.071.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-EA12-0 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-EA13-E
Genre: Zeitschriftenartikel

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Harris_Molecular.pdf (beliebiger Volltext), 272KB
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https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-EA14-C
Name:
Harris_Molecular.pdf
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Öffentlich
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Copyright Info:
eDoc_access: PUBLIC
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-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Harris, P. R.1, Autor
Meyer, F. W.1, Autor
Jacob, W.2, 3, Autor           
Schwarz-Selinger, T.2, 3, Autor           
von Toussaint, U.2, 3, Autor           
Affiliations:
1Physics Division, Oak Ridge National Laboratory, P.O. Box 2008, Oak Ridge, TN 37831-6372, ou_persistent22              
2Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856327              
3Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              

Inhalt

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Schlagwörter: 18th International Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions (IISC-18), Gatlinburg, USA, 2010-09-26 to 2010-10-01
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2011
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 515895
DOI: 10.1016/j.nimb.2010.12.071
URI: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2010.12.071
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Elsevier B.V.
Seiten: - Band / Heft: 269 (11) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1276 - 1279 Identifikator: -