Großflächige Hochrateabscheidung von Kratzschutzschichten auf Polycarbonat 
mittels Mikrowellen-PECVD

Merli, S.; Schulz, A.; Walker, M.; Stroth, U.; Hirth, T.

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Großflächige Hochrateabscheidung von Kratzschutzschichten auf Polycarbonat mittels Mikrowellen-PECVD

Merli, S., Schulz, A., Walker, M., Stroth, U., & Hirth, T. (2014). Großflächige Hochrateabscheidung von Kratzschutzschichten auf Polycarbonat mittels Mikrowellen-PECVD. Poster presented at 78. DPG-Jahrestagung und Frühjahrstagung der Sektion AMOP, Berlin.

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Item Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-001A-0B66-C Version Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-001A-0B68-8

Genre: Poster

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Creators:
Merli, S.¹, Author
Schulz, A.¹, Author
Walker, M.¹, Author
Stroth, U.², Author
Hirth, T.¹, Author

Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22
2Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856327

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Details

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Language(s): deu - German

Dates: Created: 2014

Publication Status: Not specified

Pages: -

Publishing info: -

Table of Contents: -

Rev. Type: -

Identifiers: -

Degree: -

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Title: 78. DPG-Jahrestagung und Frühjahrstagung der Sektion AMOP

Place of Event: Berlin

Start-/End Date: 2014-03-17 - 2014-03-21

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Title: Verhandl. DPG

Other : Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft

Source Genre: Journal

Creator(s):

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Publ. Info: Bad Honnef : DPG

Pages: - Volume / Issue: - Sequence Number: P 18.4 Start / End Page: - Identifier: CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/04200195