Ion and Neutral Fluxes onto the Substrate from a DC Discharge in Methane

Lange, K.; Jacob, W.; Moeller, W.

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Ion and Neutral Fluxes onto the Substrate from a DC Discharge in Methane

Lange, K., Jacob, W., & Moeller, W. (1993). Ion and Neutral Fluxes onto the Substrate from a DC Discharge in Methane. In J. E., Harry (Ed.), 11th International Symposium on Plasma Chemistry. Symposium Proceedings (pp. 1266-1271).

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-91D6-5 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-91D7-3

資料種別: 会議論文

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作成者:
Lange, K.¹, 著者
Jacob, W.¹, 著者
Moeller, W.¹, 著者

所属:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288

内容説明

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言語: eng - English

日付: 出版: 1993

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり（内部）

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 630226

学位: -

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出版物 1

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出版物名: 11th International Symposium on Plasma Chemistry. Symposium Proceedings

種別: 会議論文集

著者・編者:
Harry, J. E., 編集者

所属:
-

出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: 1266 - 1271 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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