Solid Ion Source Based on Hollow-Cylindrical Magnetron Sputtering Discharges

Azarenkov, N. A.; Bizyukov, A. A.; Bizyukov, I. A.; Bobkov, V. V.; Kashaba, A. Y.; Krieger, K.; Sereda, K. N.; Tarasov, I. K.

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Solid Ion Source Based on Hollow-Cylindrical Magnetron Sputtering Discharges

Azarenkov, N. A., Bizyukov, A. A., Bizyukov, I. A., Bobkov, V. V., Kashaba, A. Y., Krieger, K., et al. (2003). Solid Ion Source Based on Hollow-Cylindrical Magnetron Sputtering Discharges. Voprosy Atomnoj Nauki i Techniki, Serijya Fizika Plazmy, 9, 125-127.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-3DF6-0 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-3DF7-E

Genre: Zeitschriftenartikel

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Urheber:
Azarenkov, N. A., Autor
Bizyukov, A. A., Autor
Bizyukov, I. A.¹, Autor
Bobkov, V. V.², Autor
Kashaba, A. Y., Autor
Krieger, K.¹, Autor
Sereda, K. N., Autor
Tarasov, I. K., Autor

Affiliations:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328
2Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856318