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Titel:
Microelectronic Engineering
Alternativer Titel
:
Microelectron. Eng.
Genre der Quelle:
Zeitschrift
Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe:
-
Seiten:
-
Band / Heft:
25 (2-4)
Artikelnummer:
-
Start- / Endseite:
313 - 320
Identifikator:
ISSN: 0167-9317