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  Time resolved laser ablation of polymers and inorganic crystals

Preuss, S., Spaeth, M., & Stuke, M. (1994). Time resolved laser ablation of polymers and inorganic crystals. Microelectronic Engineering, 25(2-4), 313-320.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0013-04C0-A Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-EA9E-3
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Preuss, S., Autor
Spaeth, M.1, Autor           
Stuke, M.1, Autor           
Affiliations:
1Research Group of Laser Chemical Processing, MPI for biophysical chemistry, Max Planck Society, ou_578609              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1994-08
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 275978
ISI: A1994PE65000026
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Microelectronic Engineering
  Alternativer Titel : Microelectron. Eng.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 25 (2-4) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 313 - 320 Identifikator: ISSN: 0167-9317