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  Evaluation of the depth resolutions of auger electron spectroscopic, X-ray photoelectron spectroscopic and time-of-flight secondary-ion mass spectrometric sputter depth profiling techniques

Wang, J. Y., Starke, U., & Mittemeijer, E. J. (2009). Evaluation of the depth resolutions of auger electron spectroscopic, X-ray photoelectron spectroscopic and time-of-flight secondary-ion mass spectrometric sputter depth profiling techniques. Thin Solid Films, 517, 3402-3407. doi:10.1016/j.tsf.2009.01.007.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3DD0-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3DD1-A
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Wang, J. Y.1, Autor           
Starke, U., Autor
Mittemeijer, E. J.1, 2, Autor           
Affiliations:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              
2Universität Stuttgart, Institut für Materialwissenschaft, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Mittemeijer;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2009
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 430725
DOI: 10.1016/j.tsf.2009.01.007
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 517 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 3402 - 3407 Identifikator: -