ausblenden:
Titel:
Microelectronic Engineering
Genre der Quelle:
Zeitschrift
Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe:
Amsterdam : Elsevier
Seiten:
5
Band / Heft:
137 (1)
Artikelnummer:
-
Start- / Endseite:
96 - 100
Identifikator:
ISSN: 0167-9317
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925484690