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  Formation of mesoscopic structures by the CVD of SiH4 on Fe(100)

Rebhan, M. E., Rohwerder, M., & Stratmann, M. (2002). Formation of mesoscopic structures by the CVD of SiH4 on Fe(100). Chemical Vapor Deposition, 8(6), 259-261. doi:10.1002/1521-3862(20021203)8:6<259:AID-CVDE259>3.0.CO;2-8.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0019-6D66-F Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0025-6840-1
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Rebhan, Matthias Erwin1, 2, Autor           
Rohwerder, Michael1, 3, Autor           
Stratmann, Martin4, 5, Autor           
Affiliations:
1Institut für Werkstoffwissenschaften IV, Universität Erlangen, 91058 Erlangen, Germany, ou_persistent22              
2Siemens AG, CT D2P, Otto-Hahn-Ring 6, 81730 Munich, Germany, ou_persistent22              
3Molecular Structure and Surface Modification, Interface Chemistry and Surface Engineering, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society, ou_1863360              
4Interface Chemistry and Surface Engineering, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society, ou_1863348              
5Institut für Werkstoffwissenschaften IV, Universität Erlangen, Erlangen, D-91058, Germany, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2002-12
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 124752
DOI: 10.1002/1521-3862(20021203)8:6<259::AID-CVDE259>3.0.CO;2-8
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Chemical Vapor Deposition
  Andere : Chem. Vapor Depos.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Weinheim : Verlag GmbH & Co. KGaA
Seiten: - Band / Heft: 8 (6) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 259 - 261 Identifikator: ISSN: 0948-1907
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925573933