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  Titania-assisted electron-beam and synchrotron lithography

Skorb, E. V., Grützmacher, D., Dais, C., Guzenko, V. A., Sokolov, V. G., Gaevskaya, T. V., et al. (2010). Titania-assisted electron-beam and synchrotron lithography. Nanotechnology, 21(31): 315301.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0015-4AE8-D Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0015-4AE9-B
Genre: Zeitschriftenartikel

Dateien

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:
488911.pdf (Verlagsversion), 2MB
 
Datei-Permalink:
-
Name:
488911.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Eingeschränkt (Max Planck Institute of Colloids and Interfaces, MTKG; )
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
-
Copyright Info:
eDoc_access: INSTITUT
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Skorb, E. V.1, Autor           
Grützmacher, D., Autor
Dais, C., Autor
Guzenko, V. A., Autor
Sokolov, V. G., Autor
Gaevskaya, T. V., Autor
Sviridov, D. V., Autor
Affiliations:
1Grenzflächen, Max Planck Institute of Colloids and Interfaces, Max Planck Society, ou_1863287              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2010-08-06
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 488911
ISI: 000279961200010
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Nanotechnology
  Alternativer Titel : Nanotechnology
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 21 (31) Artikelnummer: 315301 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0957-4484