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  Nanolithographie mit selbstorganisierenden Masken

Spatz, J. P., Möller, M., & Ziemann, P. (1999). Nanolithographie mit selbstorganisierenden Masken. Physikalische Blätter, 55(12), 49-52. doi:10.1002/phbl.19990551213.

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Urheber

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 Urheber:
Spatz, Joachim P.1, Autor           
Möller, M.1, Autor
Ziemann, P.1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 1999
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1002/phbl.19990551213
 Art des Abschluß: -

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Quelle 1

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Titel: Physikalische Blätter
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
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Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 55 (12) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 49 - 52 Identifikator: -