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  Evolution of the 2D surface structure of a silicon pitch grating under argon ion bombardement: experiment and modeling

Bizyukov, I., Mutzke, A., Schneider, R., & Davis, J. (2010). Evolution of the 2D surface structure of a silicon pitch grating under argon ion bombardement: experiment and modeling. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 268(17-18), 2631-2638. doi:10.1016/j.nimb.2010.06.035.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-F139-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-F13A-A
Genre: Zeitschriftenartikel

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:
Bizyukov_Evolution.de.pdf (beliebiger Volltext), 3MB
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https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-F13B-8
Name:
Bizyukov_Evolution.de.pdf
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Öffentlich
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-
Copyright Info:
eDoc_access: PUBLIC
Lizenz:
-

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Urheber

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 Urheber:
Bizyukov, I.1, Autor           
Mutzke, A.2, Autor           
Schneider, R.2, Autor           
Davis, J.3, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Stellarator Theory (ST), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856287              
3Karazin Kharkiv National University, Faculty of Physics and Technologies, 31 Kurchatov Ave., Kharkiv 61108, Ukraine; Institute of Physics, Ernst-Moritz-Arndt University, Felix-Hausdorff-Str. 6, 17489 Greifswald, Germany; University of Toronto Institute for Aerospace Studies, 4925 Dufferin Street, Toronto, Ontario, Canada M3H 5T6, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2010
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 494586
DOI: 10.1016/j.nimb.2010.06.035
URI: http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2010.06.035
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Elsevier B.V.
Seiten: - Band / Heft: 268 (17-18) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 2631 - 2638 Identifikator: -