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  Deposition of dense hydrocarbon films from a nonbiased microwave plasma

Keudell, A. v., Möller, W., & Hytry, R. (1993). Deposition of dense hydrocarbon films from a nonbiased microwave plasma. Applied Physics Letters, 62(9), 937-939. doi:10.1063/1.108525.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-92C6-3 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-92C7-1
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Keudell, A. von1, Autor           
Möller, W.1, Autor           
Hytry, R.1, Autor           
Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1993
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 647591
DOI: 10.1063/1.108525
URI: http://apl.aip.org/resource/1/applab/v62/i9/p937_s1
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Applied Physics Letters
Genre der Quelle: Zeitschrift
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Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 62 (9) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 937 - 939 Identifikator: -