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  Small-scale plasticity in thin Cu and Al films

Dehm, G., Balk, T. J., Edongué, H., & Arzt, E. (2003). Small-scale plasticity in thin Cu and Al films. Microelectronic Engineering, 70(2-4), 412-424.

Item is

 

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-97EE-9 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-97EF-8
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Dehm, Gerhard1, Autor           
Balk, Thomas John1, Autor           
Edongué, Hervais1, Autor           
Arzt, Eduard1, Autor           
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2003-11
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 56103
DOI: 10.1016/S0167-9317(03)00395-2
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Materials for Advanced Metallization 2003
Veranstaltungsort: La Londe Les Maures, France
Start-/Enddatum: 2003-03-09 - 2003-03-12

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Microelectronic Engineering
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Amsterdam : Elsevier
Seiten: - Band / Heft: 70 (2-4) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 412 - 424 Identifikator: ISSN: 0167-9317
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925484690