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  Spatially resolved characterization of electromigration-induced plastic deformation in Al(0.5wt% Cu) interconnect

Barabash, R. I., Ice, G. E., Tamura, N., Valek, B. C., Spolenak, R., & Patel, R. (2003). Spatially resolved characterization of electromigration-induced plastic deformation in Al(0.5wt% Cu) interconnect. In J. Pinqueras (Ed.), Spatially Resolved Characterization of Local Phenomena in Materials and Nanostructures (pp. G13.1.1-G13.1.6). Warrendale, Pa.: MRS.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2E04-B Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2E05-9
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Barabash, R. I., Autor
Ice, G. E., Autor
Tamura, N., Autor
Valek, B. C., Autor
Spolenak, R.1, Autor           
Patel, R., Autor
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2003
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 55933
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Spatially Resolved Characterization of Local Phenomena in Materials and Nanostructures. MRS Symposium
Veranstaltungsort: Boston, Mass., USA
Start-/Enddatum: 2002-12-02 - 2002-12-06

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Spatially Resolved Characterization of Local Phenomena in Materials and Nanostructures
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Pinqueras, J., Herausgeber
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe: Warrendale, Pa. : MRS
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: G13.1.1 - G13.1.6 Identifikator: -

Quelle 2

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Titel: Materials Research Society Symposium Proceedings
Genre der Quelle: Reihe
 Urheber:
Materials Research Society, Herausgeber  
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: - Identifikator: -