Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx 
multi-layers

Matoy, Kurt; Schönherr, Helmut; Detzel, Thomas; Dehm, Gerhard

doi:10.1016/j.tsf.2010.05.114

Micron-sized fracture experiments on amorphous SiO_x films and SiO_x/SiN_x multi-layers

Matoy, K., Schönherr, H., Detzel, T., & Dehm, G. (2010). Micron-sized fracture experiments on amorphous SiO_x films and SiO_x/SiN_x multi-layers. Thin Solid Films, 518(20), 5796-5801. doi:10.1016/j.tsf.2010.05.114.

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資料種別: 学術論文

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Matoy, Kurt^{1, 2, 3}, 著者
Schönherr, Helmut⁴, 著者
Detzel, Thomas⁵, 著者
Dehm, Gerhard^{6, 7}, 著者

所属:
1Kompetenzzentrum Automobil- und Industrie-Elektronik GmbH, A-9524 Villach, Austria, ou_persistent22
2Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, A-8700 Leoben, Austria, ou_persistent22
3Department of Materials Physics, Montanuniversität Leoben, Leoben, Austria, ou_persistent22
4Infineon Technologies AG Austria, Villach, Austria, ou_persistent22
5Infineon Technologies Austria AG, A-9500 Villach, Austria, ou_persistent22
6Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, Leoben, Austria, ou_persistent22
7Department of Materials Physics, Montanuniversität Leoben, Austria, ou_persistent22

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言語: eng - English

日付: オンライン出版: 2010-06-04出版: 2010-08-02

出版の状態: 出版

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査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: DOI: 10.1016/j.tsf.2010.05.114

学位: -

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出版物名: Thin Solid Films

省略形 : Thin Solid Films

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 518 (20) 通巻号: - 開始・終了ページ: 5796 - 5801 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0040-6090
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925449792

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