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  Read-out of micromechanical cantilever sensors by phase shifting interferometry

Helm, M., Servant, J. J., Saurenbach, F., & Berger, R. (2005). Read-out of micromechanical cantilever sensors by phase shifting interferometry. Applied Physics Letters, 87(6): 064101. doi:10.1063/1.2008358.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-5C59-E Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002A-EC21-6
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Helm, M., Autor
Servant, J. J., Autor
Saurenbach, F., Autor
Berger, Rüdiger1, Autor           
Affiliations:
1MPI for Polymer Research, Max Planck Society, ou_1309545              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2005
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 239790
Anderer: P-05-103
DOI: 10.1063/1.2008358
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Applied Physics Letters
  Kurztitel : Appl. Phys. Lett.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Melville, NY : American Institute of Physics
Seiten: - Band / Heft: 87 (6) Artikelnummer: 064101 Start- / Endseite: - Identifikator: Anderer: 0003-6951
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954922836223