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  Readout of micromechanical cantilever sensor arrays by Fabry-Perot interferometry

Wehrmeister, J., Fuss, A., Saurenbach, F., Berger, R., & Helm, M. (2007). Readout of micromechanical cantilever sensor arrays by Fabry-Perot interferometry. Review of Scientific Instruments, 78(10): 104105. doi:10.1063/1.2785028.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-7E4F-3 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0029-2697-C
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Wehrmeister, J., Autor
Fuss, A., Autor
Saurenbach, F., Autor
Berger, Rüdiger1, Autor           
Helm, M., Autor
Affiliations:
1MPI for Polymer Research, Max Planck Society, ou_1309545              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2007
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 327403
Anderer: P-07-276
DOI: 10.1063/1.2785028
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Review of Scientific Instruments
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Melville, NY : AIP Publishing
Seiten: - Band / Heft: 78 (10) Artikelnummer: 104105 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0034-6748
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/991042742033452