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  Surface morphologies in polymers by irradiation with argon ions and consecutive swelling

Büscher, K., Berger, R., Brünger, W., & Graf, K. (2006). Surface morphologies in polymers by irradiation with argon ions and consecutive swelling. Microelectronic Engineering, 83(4-9), 819-822. doi:10.1016/j.mee.2006.01.007.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-7FC9-D Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0029-5B07-5
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Büscher, K.1, Autor           
Berger, Rüdiger1, Autor           
Brünger, W., Autor
Graf, Karlheinz1, Autor           
Affiliations:
1MPI for Polymer Research, Max Planck Society, ou_1309545              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2006
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 275606
Anderer: P-06-106
DOI: 10.1016/j.mee.2006.01.007
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Microelectronic Engineering
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Amsterdam : Elsevier
Seiten: - Band / Heft: 83 (4-9) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 819 - 822 Identifikator: ISSN: 0167-9317
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925484690