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Titel:
Journal of Microelectromechanical Systems
Genre der Quelle:
Zeitschrift
Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe:
New York, NY : Institute of Electrical and Electronics Engineers
Seiten:
-
Band / Heft:
20 (1)
Artikelnummer:
-
Start- / Endseite:
221 - 230
Identifikator:
ISSN: 1057-7157
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925596559