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  Analysis of local strain in aluminum interconnects by convergent beam electron diffraction

Krämer, S., Volkert, C. A., & Mayer, J. (2003). Analysis of local strain in aluminum interconnects by convergent beam electron diffraction. Microscopy and Microanalysis, 9(5), 390-398.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2C3C-0 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2C3D-E
Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : Microsc. Microanal.

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Krämer, S.1, Autor           
Volkert, C. A.2, Autor           
Mayer, J.1, Autor           
Affiliations:
1Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657              
2Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Rühle; transmission electron microscopy, CBED, energy filtered imaging and diffraction, focused ion beam, data processing, image processing, thin films, finite element modeling
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2003-10
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 112089
ISI: 000185730800003
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Microscopy and Microanalysis
  Alternativer Titel : Microsc. Microanal.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 9 (5) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 390 - 398 Identifikator: ISSN: 1431-9276