Analysis of local strain in aluminum interconnects by convergent beam electron 
diffraction

Krämer, S.; Volkert, C. A.; Mayer, J.

Analysis of local strain in aluminum interconnects by convergent beam electron diffraction

Krämer, S., Volkert, C. A., & Mayer, J. (2003). Analysis of local strain in aluminum interconnects by convergent beam electron diffraction. Microscopy and Microanalysis, 9(5), 390-398.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2C3C-0 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2C3D-E

資料種別: 学術論文

その他のタイトル : Microsc. Microanal.

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Krämer, S.¹, 著者
Volkert, C. A.², 著者
Mayer, J.¹, 著者

所属:
1Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657
2Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Rühle; transmission electron microscopy, CBED, energy filtered imaging and diffraction, focused ion beam, data processing, image processing, thin films, finite element modeling

要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English

日付: 出版: 2003-10

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: -

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 112089
ISI: 000185730800003

学位: -

訴訟

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出版物 1

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出版物名: Microscopy and Microanalysis

出版物の別名 : Microsc. Microanal.

種別: 学術雑誌

著者・編者:

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 9 (5) 通巻号: - 開始・終了ページ: 390 - 398 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 1431-9276

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