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  Quantitative characterization of dislocation structure coupled with electromigration in a passivated Al(0.5wt% Cu) interconnect

Barabash, R. I., Ice, G. E., Tamura, N., Valek, B. C., Bravman, J. C., Spolenak, R., et al. (2003). Quantitative characterization of dislocation structure coupled with electromigration in a passivated Al(0.5wt% Cu) interconnect. In A. Kerrow, J. Lelu, O. Kraft, & T. Kikkawa (Eds.), Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-k Dielectrics (pp. 107-114). Warrendale, Pa.: MRS.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2E06-7 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2E07-5
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Barabash, R. I., Autor
Ice, G. E., Autor
Tamura, N., Autor
Valek, B. C., Autor
Bravman, J. C., Autor
Spolenak, R.1, Autor           
Patel, J. R., Autor
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2003
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 55934
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-k Dielectrics. Symposium at the 2003 Spring Meeting
Veranstaltungsort: San Francisco, Calif.
Start-/Enddatum: 2003-04-21 - 2003-04-25

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-k Dielectrics
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Kerrow, A., Herausgeber
Lelu, J., Herausgeber
Kraft, O.1, Herausgeber           
Kikkawa, T., Herausgeber
Affiliations:
1 Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655            
Ort, Verlag, Ausgabe: Warrendale, Pa. : MRS
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 107 - 114 Identifikator: -

Quelle 2

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Titel: Materials Research Society Symposium Proceedings
Genre der Quelle: Reihe
 Urheber:
Materials Research Society, Herausgeber  
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: - Identifikator: -