Small-scale plasticity in thin Cu and Al films

Dehm, G.; Balk, T. J.; Edongue, H.; Arzt, E.

Small-scale plasticity in thin Cu and Al films

Dehm, G., Balk, T. J., Edongue, H., & Arzt, E. (2003). Small-scale plasticity in thin Cu and Al films. Microelectronic Engineering, 70(2-4), 412-424.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2E21-7 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2E22-5

資料種別: 学術論文

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Dehm, G.¹, 著者
Balk, T. J.¹, 著者
Edongue, H.^{1, 2}, 著者
Arzt, E.^{1, 3}, 著者

所属:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655
2Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657
3Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2003

出版の状態: 出版

ページ: -

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査読: -

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 56103

学位: -

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出版物 1

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出版物名: Microelectronic Engineering

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 70 (2-4) 通巻号: - 開始・終了ページ: 412 - 424 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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