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  Quantitative evaluation of sputtering induced surface roughness in depth profiling of polycrystalline multilayers using auger electron spectroscopy

Wang, J. Y., Hofmann, S., Zalar, A., & Mittemeijer, E. J. (2003). Quantitative evaluation of sputtering induced surface roughness in depth profiling of polycrystalline multilayers using auger electron spectroscopy. Thin Solid Films, 444, 120-124.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2F04-5 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2F05-3
Genre: Zeitschriftenartikel

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:
332.pdf (Zusammenfassung), 9KB
 
Datei-Permalink:
-
Name:
332.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Eingeschränkt (Max Planck Institute for Intelligent Systems, MSMT; )
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
-
Copyright Info:
eDoc_access: INSTITUT
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Wang, J. Y.1, Autor           
Hofmann, S.1, Autor           
Zalar, A., Autor
Mittemeijer, E. J.1, 2, Autor           
Affiliations:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              
2Universität Stuttgart, Institut für Materialwissenschaft, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Mittemeijer;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2003
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 114061
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
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Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 444 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 120 - 124 Identifikator: -