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  Changes in stress and microstructure in sputter deposited copper films due to substrate surface effects

Okolo, B., Lamparter, P., Welzel, U., Wagner, T., & Mittemeijer, E. J. (2002). Changes in stress and microstructure in sputter deposited copper films due to substrate surface effects. In A., Dias, J., Pina, A., Battista, & E., Diogo (Eds.), Proceedings of the 6th European Conference on Residual Stresses (pp. 691-696). Uetikon-Zürich: Trans Tech Publications Ltd.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3274-1 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3275-0
資料種別: 会議論文

ファイル

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非表示: ファイル
:
42-ar_2002.pdf (要旨), 67KB
 
ファイルのパーマリンク:
-
ファイル名:
42-ar_2002.pdf
説明:
-
OA-Status:
閲覧制限:
制限付き (Max Planck Institute for Intelligent Systems, MSMT; )
MIMEタイプ / チェックサム:
application/pdf
技術的なメタデータ:
著作権日付:
-
著作権情報:
eDoc_access: INSTITUT
CCライセンス:
-

関連URL

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作成者

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 作成者:
Okolo, B.1, 著者           
Lamparter, P.1, 著者           
Welzel, U.1, 著者           
Wagner, T.2, 著者           
Mittemeijer, E. J.1, 3, 著者           
所属:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              
2Central Scientific Facility Thin Film Laboratory, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497640              
3Universität Stuttgart, Institut für Materialwissenschaft, ou_persistent22              

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Mittemeijer; Abt. Arzt; ZWE Dünnschichtlabor; 42-ar_2002; 19-mi_2002; Cu films; coalescence; microstructure; stress; substrate surface roughness
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2002
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 6743
ISI: 000177256900107
 学位: -

関連イベント

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イベント名: 6th European Conference on Residual Stresses (ECRS 6)
開催地: Coimbra, Portugal
開始日・終了日: 2002-07-10 - 2002-07-12

訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Proceedings of the 6th European Conference on Residual Stresses
種別: 会議論文集
 著者・編者:
Dias, A.M., 編集者
Pina, J., 編集者
Battista, A.C., 編集者
Diogo, E., 編集者
所属:
-
出版社, 出版地: Uetikon-Zürich : Trans Tech Publications Ltd.
ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: 691 - 696 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

出版物 2

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出版物名: Materials Science Forum
種別: 連載記事
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: - 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0255-5476