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  Quantitative comparison between Auger electron spectroscopy and secondary ion mass spectroscopy depth profiles of a double layer structure of AlAs in GaAs using the mixing-roughness-information depth model

Hofmann, S., Rar, A., Moon, D. W., & Yoshihara, K. (2001). Quantitative comparison between Auger electron spectroscopy and secondary ion mass spectroscopy depth profiles of a double layer structure of AlAs in GaAs using the mixing-roughness-information depth model. Journal of Vacuum Science & Technology A, 19(4), 1111-1115.

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Basisdaten

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Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : J. Vac. Sci. Technol. A-Vac. Surf. Films

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Hofmann, S.1, Autor           
Rar, A.2, Autor
Moon, D. W.2, Autor
Yoshihara, K.2, Autor
Affiliations:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              
2Univ Alabama, MINT Ctr, Tuscaloosa, AL 35487 USA; Kores Res Inst Stand & Sci, Taejon 305606, South Korea; Natl Res Inst Met, Tsukuba, Ibaraki 3050047, Japan, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Mittemeijer;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2001-07
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 21079
ISI: 000170110900016
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Vacuum Science & Technology A
  Alternativer Titel : J. Vac. Sci. Technol. A-Vac. Surf. Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 19 (4) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1111 - 1115 Identifikator: ISSN: 0734-2101