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  Diffusional Hillock formation in Al thin films contolled by creep

Kim, D., Nix, W. D., Arzt, E., Deal, M. D., & Plummer, J. D. (2000). Diffusional Hillock formation in Al thin films contolled by creep. In R. Vinci, O. Kraft, N. Moody, P. Besser, & E. Shaffer II (Eds.), Thin Films: Stresses and Mechanical Properties VIII (pp. 129-134). Warrendale/PA: MRS.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3890-D Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3891-B
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Kim, D.1, Autor
Nix, W. D.1, Autor
Arzt, E.2, 3, Autor           
Deal, M. D.1, Autor
Plummer, J. D.1, Autor
Affiliations:
1Thin Films: Stresses and Mechanical Properties VIII External Publication Status: published Place of Conference/Meeting: Place of Publication: Name of Conference/Meeting: Review Status: not specified Publisher: Materials Research Society Audience: Experts Only Volume (in Series): 594 Full Name(s) of Editor(s) of Proceedings:, ou_persistent22              
2Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              
3Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2000
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 198959
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Thin Films: Stresses and Mechanical Properties VIII. Symposium V at the 1999 MRS Fall Meeting
Veranstaltungsort: Boston, Mass.
Start-/Enddatum: 1999-11-29 - 1999-12-03

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Films: Stresses and Mechanical Properties VIII
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Vinci, R., Herausgeber
Kraft, O.1, Herausgeber           
Moody, N., Herausgeber
Besser, P., Herausgeber
Shaffer II, E., Herausgeber
Affiliations:
1 Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655            
Ort, Verlag, Ausgabe: Warrendale/PA : MRS
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 129 - 134 Identifikator: -

Quelle 2

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Titel: Materials Research Symposium Proceedings
Genre der Quelle: Reihe
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 594 Artikelnummer: - Start- / Endseite: - Identifikator: -