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  Diffusional Hillock formation in Al thin films contolled by creep

Kim, D., Nix, W. D., Arzt, E., Deal, M. D., & Plummer, J. D. (2000). Diffusional Hillock formation in Al thin films contolled by creep. In R., Vinci, O., Kraft, N., Moody, P., Besser, & E., Shaffer II (Eds.), Thin Films: Stresses and Mechanical Properties VIII (pp. 129-134). Warrendale/PA: MRS.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3890-D 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3891-B
資料種別: 会議論文

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関連URL

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作成者

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 作成者:
Kim, D.1, 著者
Nix, W. D.1, 著者
Arzt, E.2, 3, 著者           
Deal, M. D.1, 著者
Plummer, J. D.1, 著者
所属:
1Thin Films: Stresses and Mechanical Properties VIII External Publication Status: published Place of Conference/Meeting: Place of Publication: Name of Conference/Meeting: Review Status: not specified Publisher: Materials Research Society Audience: Experts Only Volume (in Series): 594 Full Name(s) of Editor(s) of Proceedings:, ou_persistent22              
2Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              
3Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22              

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2000
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: -
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 198959
 学位: -

関連イベント

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非表示:
イベント名: Thin Films: Stresses and Mechanical Properties VIII. Symposium V at the 1999 MRS Fall Meeting
開催地: Boston, Mass.
開始日・終了日: 1999-11-29 - 1999-12-03

訴訟

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Project information

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出版物 1

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非表示:
出版物名: Thin Films: Stresses and Mechanical Properties VIII
種別: 会議論文集
 著者・編者:
Vinci, R., 編集者
Kraft, O.1, 編集者           
Moody, N., 編集者
Besser, P., 編集者
Shaffer II, E., 編集者
所属:
1 Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655            
出版社, 出版地: Warrendale/PA : MRS
ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: 129 - 134 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

出版物 2

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出版物名: Materials Research Symposium Proceedings
種別: 連載記事
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: 594 通巻号: - 開始・終了ページ: - 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -