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出版物名:
Thin Films: Stresses and Mechanical Properties III
種別:
会議論文集
著者・編者:
Vinci, R. P., 編集者
O. Kraft, N., 編集者
Moody, N., 編集者
Besser, P., 編集者
Shaffer, E., 編集者
所属:
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出版社, 出版地:
Warrendale/PA : Materials Research Society
ページ:
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巻号:
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通巻号:
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開始・終了ページ:
75 - 86
識別子(ISBN, ISSN, DOIなど):
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