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  Analysis of local strain in aluminium interconnects by energy filtered CBED

Krämer, S., Mayer, J., Weickenmeier, A., & Rühle, M. (2000). Analysis of local strain in aluminium interconnects by energy filtered CBED. Ultramicroscopy, 81, 245-262.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-39E0-2 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-39E1-F
資料種別: 学術論文

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作成者

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 作成者:
Krämer, S.1, 著者           
Mayer, J.1, 著者           
Weickenmeier, A.1, 著者           
Rühle, M.1, 著者           
所属:
1Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657              

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Ehemalige Abt. Rühle;
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2000
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 245003
 学位: -

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訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Ultramicroscopy
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: 81 通巻号: - 開始・終了ページ: 245 - 262 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -