Ordered nanopore boring in silicon: Metal-assisted etching using a self-aligned 
block copolymer Au nanoparticle template and gravity accelerated etching

Bauer, S.; Brunner, J. G.; Jha, H.; Yasukawa, Y.; Asoh, H.; Ono, S.; Böhm, H.; Spatz, J. P.; Schmuki, P.

doi:10.1016/j.elecom.2010.02.00

Ordered nanopore boring in silicon: Metal-assisted etching using a self-aligned block copolymer Au nanoparticle template and gravity accelerated etching

Bauer, S., Brunner, J. G., Jha, H., Yasukawa, Y., Asoh, H., Ono, S., Böhm, H., Spatz, J. P., & Schmuki, P. (2010). Ordered nanopore boring in silicon: Metal-assisted etching using a self-aligned block copolymer Au nanoparticle template and gravity accelerated etching. Electrochemistry Communications, 12, 565-569. doi:10.1016/j.elecom.2010.02.00.

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資料種別: 学術論文

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Bauer, S.¹, 著者
Brunner, J. G.¹, 著者
Jha, H.¹, 著者
Yasukawa, Y.¹, 著者
Asoh, H.¹, 著者
Ono, S.¹, 著者
Böhm, H.², 著者
Spatz, J. P.², 著者
Schmuki, P.¹, 著者

所属:
1Biophysikalische Chemie, Universität Heidelberg. INF 253, 69120 Heidelberg; Institut für Werkstoffwissenschaft, Universität Erlangen-Nürnberg, 91058 Erlangen; Department of Applied Chemistry, Kogakuin University, 2665-1 Nakano, Hachioji, Tokyo 192-0015, Japan, ou_persistent22
2Dept. New Materials and Biosystems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497649

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キーワード: MPI für Intelligente Systeme; Abt. Spatz;

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2010

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ページ: -

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査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 480035
DOI: 10.1016/j.elecom.2010.02.00

学位: -

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出版物 1

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出版物名: Electrochemistry Communications

種別: 学術雑誌

著者・編者:

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 12 通巻号: - 開始・終了ページ: 565 - 569 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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