Strain measurements on Si/SiGe heterostructures using HRTEM

Özdöl, V. B.; Koch, C. T.; Phillipp, F.; van Aken, P. A.

doi:10.3217/978-3-85125-062-6-596

Strain measurements on Si/SiGe heterostructures using HRTEM

Özdöl, V. B., Koch, C. T., Phillipp, F., & van Aken, P. A. (2009). Strain measurements on Si/SiGe heterostructures using HRTEM. In W., Grogger, F., Hofer, & P., Pölt (Eds.), MC2009. Vol. 3: Materials Science (pp. 447-448). Graz: Verlag der Technischen Universität Graz, Austria.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3E1F-3 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3E20-E

資料種別: 会議論文

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Özdöl, V. B.¹, 著者
Koch, C. T.¹, 著者
Phillipp, F.¹, 著者
van Aken, P. A.¹, 著者

所属:
1Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669

内容説明

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キーワード: MPI für Intelligente Systeme; Stuttgart Center for Electron Microscopy (StEM);

要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English

日付: 出版: 2009

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり（内部）

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 435834
DOI: 10.3217/978-3-85125-062-6-596

学位: -

訴訟

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出版物 1

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出版物名: MC2009. Vol. 3: Materials Science

種別: 会議論文集

著者・編者:
Grogger, W., 編集者
Hofer, F., 編集者
Pölt, P., 編集者

所属:
-

出版社, 出版地: Graz : Verlag der Technischen Universität Graz, Austria

ページ: - 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: 447 - 448 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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