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  Fabrication and characterization of a micromechanical sensor for differential detection of nanoscale motions.

Savran, C. A., Sparks, A. W., Sihler, J., Li, J., Wu, W. C., Berlin, D. E., et al. (2002). Fabrication and characterization of a micromechanical sensor for differential detection of nanoscale motions. Journal of Microelectromechanical Systems, 11(6), 703-708. doi:10.1109/JMEMS.2002.805057.

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Eingeschränkt (UNKNOWN id 303; )
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Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Savran, C. A., Autor
Sparks, A. W., Autor
Sihler, J., Autor
Li, J., Autor
Wu, W. C., Autor
Berlin, D. E., Autor
Burg, T. P.1, Autor           
Fritz, J., Autor
Schmidt, M. A., Autor
Manalis, S. R., Autor
Affiliations:
1Research Group of Biological Micro- and Nanotechnology, MPI for biophysical chemistry, Max Planck Society, ou_578602              

Inhalt

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Schlagwörter: -
 Zusammenfassung: We have micromachined a mechanical sensor that uses interferometry to detect the differential and absolute deflections of two adjacent cantilevers. The overall geometry of the device allows simple fluidic delivery to each cantilever to immobilize molecules for biological and chemical detection. We show that differential sensing is 50 times less affected by ambient temperature changes than the absolute, thus enabling a more reliable differentiation between specific cantilever bending and background effects. We describe the fabrication process and show results related to the dynamic characterization of the device as a differential sensor. The root-mean-squared (r.m.s.) sensor noise in water and air is ∼1 nm over the frequency range of 0.4-40 Hz. We also find that in air, the deflection resolution is limited only by the cantilever's thermomechanical noise level of 0.008 Å/Hz12/ over the frequency range of 40-1000 Hz.

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2002-12
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1109/JMEMS.2002.805057
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Microelectromechanical Systems
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 11 (6) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 703 - 708 Identifikator: -