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  Effects of dielectric barrier discharges on silicon surfaces: Surface roughness, cleaning, and oxidation

Michel, B., Giza, M., Krumrey, M., Eichler, M., Grundmeier, G., & Klages, C. P. (2009). Effects of dielectric barrier discharges on silicon surfaces: Surface roughness, cleaning, and oxidation. Journal of Applied Physics, 105(7): 073302 (9pp). doi:10.1063/1.3088872.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0019-445D-B Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0019-445F-7
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Michel, B., Autor
Giza, M.1, Autor           
Krumrey, M., Autor
Eichler, M., Autor
Grundmeier, G.2, Autor           
Klages, C. P., Autor
Affiliations:
1Adhesion and Thin Films, Interface Chemistry and Surface Engineering, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society, ou_1863349              
2Christian Doppler Laboratory for Metal/Polymer Interfaces, Interface Chemistry and Surface Engineering, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society, ou_1863353              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2009
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 498730
DOI: 10.1063/1.3088872
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Applied Physics
  Alternativer Titel : J. Appl. Phys.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
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Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 105 (7) Artikelnummer: 073302 (9pp) Start- / Endseite: - Identifikator: -