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  Testing thin films by microcompression: Benefits and limits

Wörgötter, H.-P., Kiener, D., Purswani, J. M., Gall, D., & Dehm, G. (2008). Testing thin films by microcompression: Benefits and limits. BHM Berg- und Hüttenmännische Monatshefte, 153(7), 257-262. doi:10.1007/s00501-008-0386-1.

Item is

Basisdaten

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Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Wörgötter, Hans-Peter1, Autor           
Kiener, Daniel2, 3, Autor           
Purswani, J. M.4, Autor           
Gall, Daniel4, Autor           
Dehm, Gerhard2, 3, Autor           
Affiliations:
1Materials Center Leoben, Forschungs GmbH, Leoben, Austria, ou_persistent22              
2Department of Materials Physics, Montanuniversität Leoben, Austria, ou_persistent22              
3Erich Schmid Institute of Material Science, Austrian Academy of Sciences, Leoben, Austria, ou_persistent22              
4Department of Materials Science and Engineering, Rensselaer Polytechnic Institute, Troy, NY, USA, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: -
 Zusammenfassung: Durchführung von Mikro-Druckversuchen an dünnen Schichten: Vor- und Nachteile. Hochwertige Werkzeuge werden beschichtet, um sie einerseits verschleißbeständiger zu machen und um andererseits die benötigten Werkstoffeigenschaften für das jeweilige Einsatzgebiet zu erhalten. Ähnliche Optimierungsstrategien werden z. B. bei thermischen Schutzschichten für Turbinenschaufeln oder elektrisch leitfähigen Schichten in der Mikroelektronik verfolgt. Für die Anwendungen ist es notwendig, die mechanischen Eigenschaften der jeweiligen Schicht zu kennen. Es werden die Durchführbarkeit von Mikro-Druckversuchen an vier verschiedenen Beschichtungen, an einer polykristallinen Wolframschicht, an einer einkristallinen Kupferschicht und an zwei einkristallinen Hartstoffschichten (Vanadiumnitrid und Titannitrid) analysiert und die Vor- und Nachteile der Methode diskutiert. Mit Hilfe eines Rasterionenmikroskops wurden kleine Druckproben aus den jeweiligen Schichten gefertigt und anschließend mit einem Mikro-Indenter, welcher in ein Rasterelektronenmikroskop eingebaut wurde, geprüft. Die Verformung der Druckproben wurde während des Druckversuches beobachtet und aus den aufgezeichneten Kraft-Verschiebungswerten wurden wahre Spannungs- wahre Dehnungskurven berechnet.

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2008-07-15
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1007/s00501-008-0386-1
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: BHM Berg- und Hüttenmännische Monatshefte
  Kurztitel : BHM
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Berlin, Germany : Springer
Seiten: - Band / Heft: 153 (7) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 257 - 262 Identifikator: ISSN: 1613-7531
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/1613-7531