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  Testing thin films by microcompression: Benefits and limits

Wörgötter, H.-P., Kiener, D., Purswani, J. M., Gall, D., & Dehm, G. (2008). Testing thin films by microcompression: Benefits and limits. BHM Berg- und Hüttenmännische Monatshefte, 153(7), 257-262. doi:10.1007/s00501-008-0386-1.

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Item Permalink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0024-5361-5 Version Permalink: http://hdl.handle.net/21.11116/0000-0001-984B-0
Genre: Journal Article

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 Creators:
Wörgötter, Hans-Peter1, Author              
Kiener, Daniel2, 3, Author              
Purswani, J. M.4, Author              
Gall, Daniel4, Author              
Dehm, Gerhard2, 3, Author              
Affiliations:
1Materials Center Leoben, Forschungs GmbH, Leoben, Austria, ou_persistent22              
2Department of Materials Physics, Montanuniversität Leoben, Austria, ou_persistent22              
3Erich Schmid Institute of Material Science, Austrian Academy of Sciences, Leoben, Austria, ou_persistent22              
4Department of Materials Science and Engineering, Rensselaer Polytechnic Institute, Troy, NY, USA, ou_persistent22              

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Free keywords: -
 Abstract: Durchführung von Mikro-Druckversuchen an dünnen Schichten: Vor- und Nachteile. Hochwertige Werkzeuge werden beschichtet, um sie einerseits verschleißbeständiger zu machen und um andererseits die benötigten Werkstoffeigenschaften für das jeweilige Einsatzgebiet zu erhalten. Ähnliche Optimierungsstrategien werden z. B. bei thermischen Schutzschichten für Turbinenschaufeln oder elektrisch leitfähigen Schichten in der Mikroelektronik verfolgt. Für die Anwendungen ist es notwendig, die mechanischen Eigenschaften der jeweiligen Schicht zu kennen. Es werden die Durchführbarkeit von Mikro-Druckversuchen an vier verschiedenen Beschichtungen, an einer polykristallinen Wolframschicht, an einer einkristallinen Kupferschicht und an zwei einkristallinen Hartstoffschichten (Vanadiumnitrid und Titannitrid) analysiert und die Vor- und Nachteile der Methode diskutiert. Mit Hilfe eines Rasterionenmikroskops wurden kleine Druckproben aus den jeweiligen Schichten gefertigt und anschließend mit einem Mikro-Indenter, welcher in ein Rasterelektronenmikroskop eingebaut wurde, geprüft. Die Verformung der Druckproben wurde während des Druckversuches beobachtet und aus den aufgezeichneten Kraft-Verschiebungswerten wurden wahre Spannungs- wahre Dehnungskurven berechnet.

Details

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Language(s): eng - English
 Dates: 2008-07-15
 Publication Status: Published in print
 Pages: -
 Publishing info: -
 Table of Contents: -
 Rev. Type: Peer
 Identifiers: DOI: 10.1007/s00501-008-0386-1
 Degree: -

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Title: BHM Berg- und Hüttenmännische Monatshefte
  Abbreviation : BHM
Source Genre: Journal
 Creator(s):
Affiliations:
Publ. Info: Berlin, Germany : Springer
Pages: - Volume / Issue: 153 (7) Sequence Number: - Start / End Page: 257 - 262 Identifier: ISSN: 1613-7531
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/1613-7531