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  Online tuning of impedance matching circuit for long pulse inductively coupled plasma source operation – An alternate approach

Sudhir, D., Bandyopadhyay, M., Kraus, W., Gahlaut, A., Bansal, G., & Chakraborty, A. (2014). Online tuning of impedance matching circuit for long pulse inductively coupled plasma source operation – An alternate approach. Review of Scientific Instruments, 85: 013510. doi:10.1063/1.4863098.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0019-C113-1 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0025-B75E-5
Genre: Zeitschriftenartikel

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:
Sudhir_Online.pdf (beliebiger Volltext), 473KB
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Datei-Permalink:
https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0019-C41D-4
Name:
Sudhir_Online.pdf
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Öffentlich
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf / [MD5]
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Externe Referenzen

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externe Referenz:
http://dx.doi.org/10.1063/1.4863098 (Verlagsversion)
Beschreibung:
-
OA-Status:

Urheber

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 Urheber:
Sudhir, D.1, Autor
Bandyopadhyay, M.1, Autor
Kraus, W.2, Autor           
Gahlaut, A.1, Autor
Bansal, G.1, Autor
Chakraborty, A.1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856290              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2014
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: 8 p.
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1063/1.4863098
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Review of Scientific Instruments
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Melville, NY : AIP Publishing
Seiten: - Band / Heft: 85 Artikelnummer: 013510 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0034-6748
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/991042742033452