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  Großflächige Hochrateabscheidung von Kratzschutzschichten auf Polycarbonat mittels Mikrowellen-PECVD

Merli, S., Schulz, A., Walker, M., Stroth, U., & Hirth, T. (2014). Großflächige Hochrateabscheidung von Kratzschutzschichten auf Polycarbonat mittels Mikrowellen-PECVD. Poster presented at 78. DPG-Jahrestagung und Frühjahrstagung der Sektion AMOP, Berlin.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-001A-0B66-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-001A-0B68-8
Genre: Poster

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Merli, S.1, Autor
Schulz, A.1, Autor
Walker, M.1, Autor
Stroth, U.2, Autor           
Hirth, T.1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856327              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): deu - German
 Datum: 2014
 Publikationsstatus: Keine Angabe
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: 78. DPG-Jahrestagung und Frühjahrstagung der Sektion AMOP
Veranstaltungsort: Berlin
Start-/Enddatum: 2014-03-17 - 2014-03-21

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Verhandl. DPG
  Andere : Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Bad Honnef : DPG
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: P 18.4 Start- / Endseite: - Identifikator: CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/04200195