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  Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das Schichtwachstum von C:H-Schichten

Reinke, P.(1992). Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das Schichtwachstum von C:H-Schichten (IPP 4/256). Garching (DE): Max-Planck-Institut für Plasmaphysik.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-63E1-B Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-63E2-9
Genre: Bericht
Alternativer Titel : Ion energy distributions in an ECR-plasma and their influence on the deposition of C:H-films

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:
IPP_4_256.pdf (beliebiger Volltext), 41MB
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Datei-Permalink:
https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-63E3-7
Name:
IPP_4_256.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Öffentlich
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf / [MD5]
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Copyright Datum:
-
Copyright Info:
eDoc_access: PUBLIC
Lizenz:
-

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Urheber

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 Urheber:
Reinke, P.1, Autor           
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): deu - German
 Datum: 1992
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: 130 p.
 Ort, Verlag, Ausgabe: Garching (DE) : Max-Planck-Institut für Plasmaphysik
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 655342
Reportnr.: IPP 4/256
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle

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