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出版物名:
Radio Frequency Power in Plasmas: 16th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas
種別:
書籍
著者・編者:
Wukitch, S.J., 編集者
Bonoli, P.T., 編集者
所属:
-
出版社, 出版地:
Melville,NY : American Institute of Physics
ページ:
-
巻号:
-
通巻号:
-
開始・終了ページ:
238 - 241
識別子(ISBN, ISSN, DOIなど):
ISBN: 0-7354-0276-0