Bestimmung der Wachstumsprecursoren für amorphe Kohlenwasserstoffschichten in 
gepulsten Methanplasmen

Bauer, M.

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Bestimmung der Wachstumsprecursoren für amorphe Kohlenwasserstoffschichten in gepulsten Methanplasmen

Bauer, M. (2004). Bestimmung der Wachstumsprecursoren für amorphe Kohlenwasserstoffschichten in gepulsten Methanplasmen. PhD Thesis, Universität Bayreuth, Bayreuth.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-1AF7-9 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0006-C05A-C

Genre: Hochschulschrift

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Urheber:
Bauer, M.^{1, 2}, Autor

Affiliations:
1Centre for Interdisciplinary Plasma Science (CIPS), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_2074325
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288