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  Radical detection in a methane plasma

Kang, H. D., & Dose, V. (2003). Radical detection in a methane plasma. Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 21, 1978-1980. doi:10.1116/1.1621405.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-3DD4-9 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-3DD5-7
Genre: Zeitschriftenartikel

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:
kang35.pdf (beliebiger Volltext), 48KB
 
Datei-Permalink:
-
Name:
kang35.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Eingeschränkt (Max Planck Institute for Plasma Physics, MPPL; )
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
-
Copyright Info:
eDoc_access: INSTITUT
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Kang, H. D.1, 2, Autor           
Dose, V.3, Autor           
Affiliations:
1Centre for Interdisciplinary Plasma Science (CIPS), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_2074325              
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              
3External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2003
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 61096
DOI: 10.1116/1.1621405
URI: http://ojps.aip.org/getpdf/servlet/GetPDFServlet?filetype=pdf&id=JVTAD6000021000006001978000001&idtype=cvips
Anderer: CIPS Reprint No. 136
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
  Alternativer Titel : J. Vac. Sci. Technol. A: Vac. Surf. Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 21 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1978 - 1980 Identifikator: -