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Titel:
Radio Frequency Power in Plasmas: 14th Topical Conference
Genre der Quelle:
Buch
Urheber:
Mau, T.K., Herausgeber
De Grassie, J., Herausgeber
Affiliations:
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Ort, Verlag, Ausgabe:
Melville/NY : American institute of Physics
Seiten:
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Band / Heft:
-
Artikelnummer:
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Start- / Endseite:
209 - 216
Identifikator:
ISBN: 0-7354-0038-5