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  Sputtering Yields

Eckstein, W. (2008). Sputtering Yields. Vacuum, 82(9), 930-934. doi:10.1016/j.vacuum.2007.12.004.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-007A-7 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-007B-5
資料種別: 学術論文

ファイル

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:
Eckstein_Sputtering.pdf (全文テキスト（全般）), 265KB
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ファイルのパーマリンク:
https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-007C-3
ファイル名:
Eckstein_Sputtering.pdf
説明:
-
OA-Status:
閲覧制限:
公開
MIMEタイプ / チェックサム:
application/pdf / [MD5]
技術的なメタデータ:
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著作権日付:
-
著作権情報:
eDoc_access: PUBLIC
CCライセンス:
-

関連URL

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作成者

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 作成者:
Eckstein, W.1, 著者           
所属:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              

内容説明

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キーワード: 18th Ion Surface Interactions Conference, Zvenigorod, 2007-08-24 to 2007-08-28
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2008
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 362282
DOI: 10.1016/j.vacuum.2007.12.004
 学位: -

関連イベント

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訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Vacuum
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: Elsevier
ページ: - 巻号: 82 (9) 通巻号: - 開始・終了ページ: 930 - 934 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -