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  Sputtering Yields

Eckstein, W. (2008). Sputtering Yields. Vacuum, 82(9), 930-934. doi:10.1016/j.vacuum.2007.12.004.

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Eckstein_Sputtering.pdf (beliebiger Volltext), 265KB
Name:
Eckstein_Sputtering.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Öffentlich
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf / [MD5]
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
-
Copyright Info:
eDoc_access: PUBLIC
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Eckstein, W.1, Autor           
Affiliations:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              

Inhalt

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Schlagwörter: 18th Ion Surface Interactions Conference, Zvenigorod, 2007-08-24 to 2007-08-28
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2008
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 362282
DOI: 10.1016/j.vacuum.2007.12.004
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Vacuum
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Elsevier
Seiten: - Band / Heft: 82 (9) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 930 - 934 Identifikator: -