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  Plasma Boundary Sheath in the Afterglow of a Pulsed Inductively Coupled RF Plasma

Osiac, M., Schwarz-Selinger, T., O'Connell, D., Heil, B., Petrovic, Z. L., Turner, M. M., Gans, T., & Czarnetzki, U. (2007). Plasma Boundary Sheath in the Afterglow of a Pulsed Inductively Coupled RF Plasma. Plasma Sources Science Technology, 16, 355-363. Retrieved from http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/16/2/019.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-07BE-2 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-07BF-F
資料種別: 学術論文

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作成者

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 作成者:
Osiac, M.1, 著者
Schwarz-Selinger, T.2, 著者           
O'Connell, D.1, 著者
Heil, B.1, 著者
Petrovic, Z. L.1, 著者
Turner, M. M.1, 著者
Gans, T.1, 著者
Czarnetzki, U.1, 著者
所属:
1Institute for Plasma and Atomic Physics, CPST, Ruhr-University Bochum, Bochum 44780, Germany; Institute of Physics Belgrade, Zemun POB 68 Zemun 11080, Serbia; National Centre for Plasma Science and Technology, Dublin City University, Dublin 9, Ireland; Faculty of Physics, University of Craiova, Craiova, Romania; Institute for Electrical Engineering and Plasma Technology, CPST, Ruhr-University Bochum, 44780 Bochum, Germany; Centre for Plasma Physics, Queen's University Belfast, Belfast BT7 1NN, UK, ou_persistent22              
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              

内容説明

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資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2007
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 321205
URI: http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/16/2/019
 学位: -

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訴訟

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出版物 1

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出版物名: Plasma Sources Science Technology
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: IOP
ページ: - 巻号: 16 通巻号: - 開始・終了ページ: 355 - 363 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -